“我们生产的电子特种气体主要应用于集成电路，对产品品质要求非常高。”近日，在浙江瑞亨电子材料有限公司，项目负责人李飞明向记者介绍了公司依托一系列数字技术的创新应用，将精益生产推向了新高度。

在年产6000吨高纯电子气半导体材料项目车间，一条条管道依序排开，从电解、预处理、纯化、充装再到“三废”处理，电子特种气体生产过程均由智能制造设备完成。荷兰的阀门、美国的管件、德国的生产设备、日韩的特殊装备、自主研发的核心零件……瑞亨电子整合全球装备资源，打造安全可靠的电子特气管道系统，进一步保障产品品质。

除了智能设备外，企业还有一个智慧中枢——中央控制指挥中心。在这里产品制造、检验分析任务被精准分配到每个工位，还可通过SIS应急系统、GDS系统等，全方位、全流程地监控生产状况和安全运行情况。一旦出现气体泄漏，气体侦测器报警并联动切断气体供应，同时负压排气可将泄漏气体抽入尾气处理装置予以净化。

“数字化生产不仅省时省力，而且更加精准。”李飞明解释道。过去，员工进行气体检验，需要去各类车间现场一次次手工取样，储存在不同针管里，费时费力不说，还存在气体污染隐患。而现在，车间里每条气体管道皆由电子仪器控制，他们只要轻轻按下一个按钮，就能打开任何一种所需检验气体的管道取样口，通过在线分析系统，迅速将精准翔实的检验结果上传到数据管理平台。

“有了大数据、云计算的支撑，产品开发成本降低、效率提升，研发周期大为缩短。”李飞明说，公司目前可自主生产电子级氯化氢、电子级氯气、电子级盐酸等，纯度高达99.9995%，处于国际先进水平。如此高的纯度，相当于在一个标准足球场里不能出现一个一角钱硬币那么大的杂质。很多国内企业花了数十载的时间不断尝试、不断失败，依旧没有攻克最初的容器清洗达标这一关，这也是让许多国内企业望而却步的主要原因。

据悉，高纯电子特种气体被誉为半导体工业的“血液”和“粮食”，是大规模集成电路、多晶硅、太阳能、光纤等先进制造业的重要原材料，决定着芯片的良率和可靠性，市场前景广阔，但长期被国外企业垄断，处于“卡脖子”状态。

为破解垄断危机、抢抓市场机遇，2018年，瑞亨电子瞄准了上虞发展新材料产业的决心，投资10.5亿元在经开区建设年产33000吨高纯电子材料基地。其中，一期利用新征?30亩土地，新建车间、仓库等建筑，购置反应合成装置、提纯装置、精馏塔等设备，建设年产6000吨高纯电子气半导体材料项目；二期建设年产10000吨高纯电子化学品半导体材料项目。一期项目建成达产后，可实现年销售收入2.8亿元，上缴税金4000万元，利润

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