文章摘要:利用数字全息显微技术对玻璃微加工中微结构的形貌进行了高精度测量，基于马赫-曾德离轴显微干涉系统记录微结构的数字全息图，用混合重建算法和行列扫描法解包裹提取高精度的相位分布，进而构建微结构的形貌，并计算了深度。对平凸球形微透镜进行了形貌仿真与测量，验证了该方法的可行性。用二氧化碳激光器对载玻片表面进行光刻微加工，定量分析了不同光刻参数对玻璃微结构的形貌及深度的影响，以及加工热影响区引起的重凝高度对加工质量的影响。结果表明，光刻深度随着激光功率的增大而增大，随着打标速度的减小而增大，Q频较小时深度较大。这有助于指导玻璃的精细加工。

文章关键词:数字全息,形貌,玻璃微结构,光刻参数,微加工,

项目基金:国家自然科学基金（No.62075125）,上海市科委科研计划项目（Nos.20DZ2204900,19DZ2294000）,高等学校学科创新引智计划（No.D20031）,文章来源：《数字技术与应用》 网址: http://www.szjsyyyzz.cn/qikandaodu/2021/0901/1572.html